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  • 技術(shù)文章

    詳細(xì)介紹電子行業(yè)生產(chǎn)過程中的防靜電技術(shù)要求!

    2018-01-09 10:03:11  來源:

     

        經(jīng)常有客戶來了解靜電防護(hù)的系統(tǒng)方案,在電了產(chǎn)品生產(chǎn)過程中,靜電放電往往就會(huì)穿擊敏感元器件,甚至使元器件失效,造厲嚴(yán)重的損失,因些電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中的靜電防護(hù)顯得非常重要,據(jù)分析電子產(chǎn)品制造中的靜電產(chǎn)生源與靜電防護(hù)原理,較說明強(qiáng)紹了電子行業(yè)生產(chǎn)中的一些靜電防靜電技術(shù)基礎(chǔ)與相應(yīng)防護(hù)措施。

    一、介紹靜電與靜電的危害性!

     靜電是一種電能,它存留于物體表面,是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果,是通過電子或離子的轉(zhuǎn)換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在產(chǎn)生和消失過程中產(chǎn)生的電現(xiàn)象的總稱。如摩擦起電、人體起電等現(xiàn)象。

        隨著科技發(fā)展,靜電現(xiàn)象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領(lǐng)域得到廣泛的有效應(yīng)用。但在另一方面,靜電的產(chǎn)生在許多領(lǐng)域會(huì)帶來重大危害和損失。例如在*個(gè)阿波羅載人宇宙飛船中,由于靜電放電導(dǎo)致爆炸,使三名宇航員喪生;在火藥制造過程中由于靜電放電(ESD),造成爆炸傷亡的事故時(shí)有發(fā)生。

        在電子工業(yè)中,隨著集成度越來越高,集成電路的內(nèi)絕緣層越來越薄,互連導(dǎo)線寬度與間距越來越小,例如CMOS器件絕緣層的典型厚度約為0.1μm,其相應(yīng)耐擊穿電壓在80-100V;VMOS器件的絕緣層更薄,擊穿電壓在30V。而在電子產(chǎn)品制造中以及運(yùn)輸、存儲等過程中所產(chǎn)生的靜電電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過MOS器件的擊穿電壓,往往會(huì)使器件產(chǎn)生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現(xiàn)象,使其失效或嚴(yán)重影響產(chǎn)品的可靠性。

    為了控制和消除ESD,美國、西歐和日本等發(fā)達(dá)國家均制定了國家、*和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)定。從靜電敏感元器件的設(shè)計(jì)、制造、購買、入庫、檢驗(yàn)、倉儲、裝配、調(diào)試、半成品與成品的包裝、運(yùn)輸?shù)染邢鄳?yīng)規(guī)定,對靜電防護(hù)器材的制造使用和管理也有較嚴(yán)格的規(guī)章制度要求。我國也參照國際標(biāo)準(zhǔn)制定了*和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。例如有航天部、機(jī)電部、石油部等標(biāo)準(zhǔn)。

    二、對靜電敏感器件

    對靜電反應(yīng)敏感的器件稱為靜電敏感元器件(SSD)。靜電敏感器件主要是指超大規(guī)模集成電路,特別是金屬化膜半導(dǎo)體(MOS電路)。針對不同的SSD器件,采取不同的靜電防護(hù)措施。

    三、電子產(chǎn)品中的靜電源頭

    (1)人體的活動(dòng),人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等產(chǎn)生的靜電是電子產(chǎn)品制造中主要靜電源之一。人體靜電是導(dǎo)致器件產(chǎn)生硬(軟)擊穿的主要原因。人體活動(dòng)產(chǎn)生的靜電電壓約0.5-2KV。另外空氣濕度對靜電電壓影響很大,若在干燥環(huán)境中還要上升1個(gè)數(shù)量級。相對濕度對與人體活動(dòng)帶電的關(guān)系。

     人體帶電后觸摸到地線,會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象,人體就會(huì)產(chǎn)生不同程度的電擊感反應(yīng),其反應(yīng)的程度稱為電擊感度。不同靜電壓放電過程中人體的電擊感度。

    (2)化纖或棉制工作服與工作臺面、坐椅摩擦?xí)r,可在服裝表面產(chǎn)生6000V以上的靜電電壓,并使人體帶電,此時(shí)與器件接觸時(shí),會(huì)導(dǎo)致放電,容易損壞器件。

    (3)橡膠或塑料鞋底的絕緣電阻高達(dá)1013Ω,當(dāng)與地面摩擦?xí)r產(chǎn)生靜電,并使人體帶電。

    (4)樹脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放人包裝中運(yùn)輸時(shí),器件表面與包裝材料摩擦能產(chǎn)生幾百伏的靜電電壓,對敏感器件放電。

    (5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚內(nèi)乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、樹脂等高分子材料制作的各種包裝、料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架等都可能因摩擦、沖擊產(chǎn)生1-3.5KV靜電電壓,對敏感藉件放電。

    (6)普通工作臺面,受到摩擦產(chǎn)生靜電。

    (7)混凝土、打臘拋光地板、橡膠板等絕緣地面的絕緣電阻高,人體上的靜電荷不易泄漏。

    (8)電子生產(chǎn)設(shè)備和工具方面:例如電烙鐵、波峰焊機(jī)、再流焊爐、貼裝機(jī)、調(diào)試和檢測等設(shè)備內(nèi)的高壓變壓器、交/盲流電路都會(huì)在設(shè)備卜感應(yīng)出靜電。如果設(shè)備靜電泄放措施不好,都會(huì)引起敏感器件在制造過程中失效。烘箱內(nèi)熱空氣循環(huán)流動(dòng)與箱體摩擦、CO2低溫箱冷卻箱內(nèi)的CO2蒸汽均會(huì)可產(chǎn)生大量的靜電荷。


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