ESD的意思簡單的說就是“靜電釋放”的意,它是英文:Electro-Static discharge 的縮寫,即"靜電放電"的意思。靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象,產(chǎn)生的方式多種,如接觸、摩擦等。靜電的特點是高電壓、低電量、小電流和作用時間短的特點。人體自身的動作或與其他物體的接觸,分離,摩擦或感應(yīng)等因素,可以產(chǎn)生幾千伏甚至上萬伏的靜電。靜電放電引起的組件擊穿損害是電子工業(yè)*普遍、*嚴(yán)重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿.硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或永久性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降。而磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源。因此,在電子工業(yè)生產(chǎn)過程中每一道工序都要防止靜電放電造成的擊穿而造成大量報廢,美國每年因靜電放電致使半導(dǎo)體器件的損失達(dá)100億美元,英國達(dá)20億美元,日本的微電子產(chǎn)品報廢損失中有70%是因靜電放電造成的,更可怕的是有些超大規(guī)模集成電路在出廠時已被部分傷擊傷,但未完全斷開,而造成產(chǎn)品良率降低及使用壽命縮短,甚或在航天或重大領(lǐng)域則可能造成不可挽回的事故,所以ESD是在微電子應(yīng)用領(lǐng)域中非常嚴(yán)重的問題。
ESD控制的重要性:
ESD盡管放電的電壓可能高達(dá)數(shù)千伏,但由于電量有限,放電時間在瞬間完成,因此造成的損傷往往是半導(dǎo)體介質(zhì)層擊穿和金屬層的半熔化,損傷難以在后段的檢測當(dāng)中直接發(fā)現(xiàn),但造成的損傷往往讓產(chǎn)品到了終端用戶手中才顯現(xiàn)出來,而這是我們*不能接受的;其次,ESD造成的經(jīng)濟(jì)損失會隨著產(chǎn)業(yè)鏈逐級放大,ESD直接損傷的是元器件,但隨著產(chǎn)品的組裝和集成,*終影響的是產(chǎn)品和系統(tǒng),損失會逐級放大,而上游企業(yè)若因而招致的下游客戶的索賠會遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出其產(chǎn)品的價值;*后,也是*重要的,ESD控制要解決的不是一個單純的技術(shù)問題而是系統(tǒng)性的工程,它涉及到了材料工藝、質(zhì)量管理、可靠性分析、員工培訓(xùn)、檢測審核等各個方面的工作,ESD控制水平的高低實際反映的是其可靠性和質(zhì)量管理水平的高低,因此,它也就成為了EMS客戶在選擇供貨商時關(guān)注的核心條件之一。
ESD防護(hù)的常見方式:
因此可知在電子工業(yè)中的防靜電措施甚為重要,主要防靜電方式為靜電泄露、耗散、中和、增濕,屏蔽與接地。具體常見的方式為建置防靜電生產(chǎn)環(huán)境及操作及包裝方式,采用防靜電地板、防靜電桌椅、防靜電材料、離子風(fēng)機、屏蔽袋及各式接地系統(tǒng),人員穿戴防靜電衣帽、防靜電手腕帶、防靜電鞋等各種方式來加強ESD防護(hù),來降低靜電放電危害保證產(chǎn)品質(zhì)量及良率提高。而電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中人體是*普遍存在的靜電危害源。對于靜電來說,人體是導(dǎo)體,所以主要的防靜電措施即是加強對人體采取接地的措施。*常見的方法為: 使用防靜電地面、防靜電鞋襪(靜電從腳導(dǎo)到大地)及戴防靜電腕帶并接地(靜電從手導(dǎo)到大地)。由此可知,除了標(biāo)準(zhǔn)防靜電地板的建置外,對于人員的防靜電檢測就顯得格外重要,主要是使用人體綜合靜電測試儀檢測人員穿戴之防靜電手腕帶及防靜電是否正常在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi),不能太低或偏高。為何不能太低?從防靜電的角度,人體總的對地電阻越小越好,但*小值受到安全方面的限制,人體必須具有一定值的對地電阻,以便萬一發(fā)生金屬設(shè)備或裝置與工頻電源短接的情況下該電阻能夠限制流過操作的人體上的電流,所以太低可能發(fā)生漏電時之工安事件。太高呢?手腕帶或防靜電超出標(biāo)準(zhǔn)阻值高值,人體產(chǎn)生之靜電無法正常透過手腕帶或防靜鞋導(dǎo)出,就可能發(fā)生靜電放電擊傷電子組件之靜電危害,所以正確穿戴防靜手腕帶、防靜電鞋及保證其正常未失效的檢測是為進(jìn)入生產(chǎn)車間重要步驟。