經(jīng)常有客戶來(lái)了解靜電防護(hù)的系統(tǒng)方案，在電了產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，靜電放電往往就會(huì)穿擊敏感元器件，甚至使元器件失效，造成嚴(yán)重的損失，因些電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中的靜電防護(hù)顯得非常重要，據(jù)分析電子產(chǎn)品制造中的靜電產(chǎn)生源與靜電防護(hù)原理，較說(shuō)明強(qiáng)調(diào)了電子行業(yè)生產(chǎn)中的一些靜電防靜電技術(shù)基礎(chǔ)與相應(yīng)防護(hù)措施。
 

一、介紹靜電與靜電的危害性！

 靜電是一種電能，它存留于物體表面，是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果，是通過(guò)電子或離子的轉(zhuǎn)換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在產(chǎn)生和消失過(guò)程中產(chǎn)生的電現(xiàn)象的總稱。如摩擦起電、人體起電等現(xiàn)象。

    隨著科技發(fā)展，靜電現(xiàn)象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領(lǐng)域得到廣泛的有效應(yīng)用。但在另一方面，靜電的產(chǎn)生在許多領(lǐng)域會(huì)帶來(lái)重大危害和損失。例如在*個(gè)阿波羅載人宇宙飛船中，由于靜電放電導(dǎo)致爆炸，使三名宇航員喪生；在火藥制造過(guò)程中由于靜電放電(ESD)，造成爆炸傷亡的事故時(shí)有發(fā)生。

    在電子工業(yè)中，隨著集成度越來(lái)越高，集成電路的內(nèi)絕緣層越來(lái)越薄，互連導(dǎo)線寬度與間距越來(lái)越小，例如CMOS器件絕緣層的典型厚度約為0．1μm，其相應(yīng)耐擊穿電壓在80-100V；VMOS器件的絕緣層更薄，擊穿電壓在30V。而在電子產(chǎn)品制造中以及運(yùn)輸、存儲(chǔ)等過(guò)程中所產(chǎn)生的靜電電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)MOS器件的擊穿電壓，往往會(huì)使器件產(chǎn)生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現(xiàn)象，使其失效或嚴(yán)重影響產(chǎn)品的可靠性。

為了控制和消除ESD，美國(guó)、西歐和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家均制定了國(guó)家、*和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)定。從靜電敏感元器件的設(shè)計(jì)、制造、購(gòu)買、入庫(kù)、檢驗(yàn)、倉(cāng)儲(chǔ)、裝配、調(diào)試、半成品與成品的包裝、運(yùn)輸?shù)染�有相�?yīng)規(guī)定，對(duì)靜電防護(hù)器材的制造使用和管理也有較嚴(yán)格的規(guī)章制度要求。我國(guó)也參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制定了*和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。例如有航天部、機(jī)電部、石油部等標(biāo)準(zhǔn)。

二、對(duì)靜電敏感器件

對(duì)靜電反應(yīng)敏感的器件稱為靜電敏感元器件(SSD)。靜電敏感器件主要是指超大規(guī)模集成電路，特別是金屬化膜半導(dǎo)體(MOS電路)。針對(duì)不同的SSD器件，采取不同的靜電防護(hù)措施。

三、電子產(chǎn)品中的靜電源頭

(1)人體的活動(dòng)，人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等產(chǎn)生的靜電是電子產(chǎn)品制造中主要靜電源之一。人體靜電是導(dǎo)致器件產(chǎn)生硬(軟)擊穿的主要原因。人體活動(dòng)產(chǎn)生的靜電電壓約0．5-2KV。另外空氣濕度對(duì)靜電電壓影響很大，若在干燥環(huán)境中還要上升1個(gè)數(shù)量級(jí)。表2為相對(duì)濕度對(duì)與人體活動(dòng)帶電的關(guān)系。

 人體帶電后觸摸到地線，會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象，人體就會(huì)產(chǎn)生不同程度的電擊感反應(yīng)，其反應(yīng)的程度稱為電擊感度。表3為不同靜電壓放電過(guò)程中人體的電擊感度。

(2)化纖或棉制工作服與工作臺(tái)面、坐椅摩擦?xí)r，可在服裝表面產(chǎn)生6000V以上的靜電電壓，并使人體帶電，此時(shí)與器件接觸時(shí)，會(huì)導(dǎo)致放電，容易損壞器件。

(3)橡膠或塑料鞋底的絕緣電阻高達(dá)1013Ω，當(dāng)與地面摩擦?xí)r產(chǎn)生靜電，并使人體帶電。

(4)樹(shù)脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放人包裝中運(yùn)輸時(shí)，器件表面與包裝材料摩擦能產(chǎn)生幾百伏的靜電電壓，對(duì)敏感器件放電。

(5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚內(nèi)乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、樹(shù)脂等高分子材料制作的各種包裝、料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架等都可能因摩擦、沖擊產(chǎn)生1-3．5KV靜電電壓，對(duì)敏感藉件放電。

(6)普通工作臺(tái)面，受到摩擦產(chǎn)生靜電。

(7)混凝土、打臘拋光地板、橡膠板等絕緣地面的絕緣電阻高，人體上的靜電荷不易泄漏。

(8)電子生產(chǎn)設(shè)備和工具方面：例如電烙鐵、波峰焊機(jī)、再流焊爐、貼裝機(jī)、調(diào)試和檢測(cè)等設(shè)備內(nèi)的高壓變壓器、交／盲流電路都會(huì)在設(shè)備卜感應(yīng)出靜電。如果設(shè)備靜電泄放措施不好，都會(huì)引起敏感器件在制造過(guò)程中失效。烘箱內(nèi)熱空氣循環(huán)流動(dòng)與箱體摩擦、CO2低溫箱冷卻箱內(nèi)的CO2蒸汽均會(huì)可產(chǎn)生大量的靜電荷。

四、靜電防護(hù)原理與措施

電子產(chǎn)品制造中，不產(chǎn)生靜電是不可能的。產(chǎn)生靜電不是危害所在，其危害所在于靜電積聚以及由此產(chǎn)生的靜電放電。靜電防護(hù)的核心是“靜心消除”。

靜電防護(hù)原理：

(1)對(duì)可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電積聚。采取措施在安全范圍內(nèi)。

(2)對(duì)已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時(shí)釋放。

(2)泄漏與接地：對(duì)可能產(chǎn)生或已經(jīng)產(chǎn)生靜電的部位進(jìn)行接地，提供靜電釋放通道。采用埋大地線的方法建立“獨(dú)立”地線。使地線與大地之間的電阻＜10Ω。

  靜電防護(hù)材料接地方法：將靜電防護(hù)材料(如工作臺(tái)面墊、地墊、防靜電腕帶等)通過(guò)1MΩ的電阻接到通向獨(dú)立大地線的導(dǎo)體上(參見(jiàn)SJ／T10630-1995)。串接1MΩ電阻是為了確保對(duì)地泄放＜5mA的電流，稱為軟接地。設(shè)備外殼和靜電屏蔽罩通常是直接接地，稱為硬接地。

(3)導(dǎo)體帶靜電的消除：導(dǎo)體上的靜電可以用接地的方法使靜電泄漏到大地。放電體卜的電壓與釋放時(shí)間可用下式表示：

UT=U0L1/RC式中 UT-T時(shí)刻的電壓(V) U0一起始電壓(V) R-等效電阻(Ω) C-導(dǎo)體等效電容(pf)

 一般要求在1秒內(nèi)將靜電泄漏。即1秒內(nèi)將電壓降至1OOV以下的安全區(qū)。這樣可以防止泄漏速度過(guò)快、泄漏電流過(guò)大對(duì)SSD造成損壞。若U0=500V，C=200pf，想在1秒內(nèi)使UT達(dá)到100V，則要求R=1．28×109Ω。因此靜電防護(hù)系統(tǒng)中通常用1MΩ的限流電阻，將泄放電流限制在5mA以下。這是為操作安全設(shè)計(jì)的。如果操作人員在靜電防護(hù)系統(tǒng)中，不小心觸及到220V工業(yè)電壓，也不會(huì)帶來(lái)危險(xiǎn)。

(4)非導(dǎo)體帶靜電的消除：對(duì)于絕緣體上的靜電，由于電荷不能在絕緣體上流動(dòng)，因此不能用接地的方法消除靜電�？刹捎靡韵麓胧�：

(a)使用離子風(fēng)機(jī)—離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生正、負(fù)離子，可以中和靜電源的靜電。可設(shè)置在空間和貼裝機(jī)貼片頭附近。

(b)使用靜電消除劑—靜電消除劑屬于表面活性劑。可用靜電消除劑檫洗儀器和物體表面，能迅速消除物體表面的靜電。

(c)控制環(huán)境濕度—增加濕度可提高非導(dǎo)體材料的表面電導(dǎo)率，使物體表面不易積聚靜電。例如北方干燥環(huán)境可采取加濕通風(fēng)的措施。

(d)采用靜電屏蔽—對(duì)易產(chǎn)生靜電的設(shè)備可采用屏蔽罩(籠)，并將屏蔽罩（籠）有效接地。

(5)工藝控制法：為了在電子產(chǎn)品制造中盡量少的產(chǎn)生靜電,控制靜電荷積聚，對(duì)已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時(shí)釋放，應(yīng)從廠房設(shè)計(jì)、設(shè)備安裝、操作、管理制度等方面采取有效措施。

(1)人體防靜電系統(tǒng)包括防靜電手腕帶、工作服、帽、手套、鞋、襪子等。

(2)防靜電地面包括防靜電水磨石地面、防靜電橡膠地面、PVC防靜電塑料地板、防靜電地毯、防靜電活動(dòng)地板等。

(3)防靜電操作系列：包括防靜電：I：工作臺(tái)墊、防靜電包裝袋、防靜電物流小車、防靜電周轉(zhuǎn)容器，防靜電烙鐵及工具等。

七、檢測(cè)靜電測(cè)量?jī)x器

(1)靜電場(chǎng)測(cè)試儀：用于測(cè)量工作環(huán)境電壓值，電壓測(cè)量?jī)x是感應(yīng)式，不必接觸到物體表面

(2)腕帶測(cè)試儀：測(cè)量腕帶是否有效。

(3)人體綜合測(cè)試儀：用于測(cè)量防靜電手腕帶同量測(cè)試防靜電鞋，操作簡(jiǎn)便，用戶可以設(shè)置IEC或ANSI規(guī)范的上下限阻值，有自帶斷電器干接點(diǎn)輸出電子門禁。

(4)兆歐表：用于測(cè)量所有導(dǎo)電型、抗靜電型及靜電泄放型表面的阻抗或電阻。

八、電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中防靜電技術(shù)指標(biāo)要求

(1)防靜電地極接地電阻＜10Ω，條件許可做靜電接地樁阻值越低越好

(2)防靜電地面或地墊：表面電阻值105-1010Ω;摩擦電壓＜100V。

(3)墻壁：電阻值5×104-109Ω。

(4)工作臺(tái)面或墊：表面電阻值106-109Ω；摩擦電壓＜100V；對(duì)地系統(tǒng)電阻106-108Ω。

(5)工作椅面對(duì)腳輪電阻106-108Ω。

(6)工作服、帽、手套摩擦電壓＜300V；鞋底摩擦電壓＜100V。

(7)腕帶連接電纜電阻1MΩ；佩帶腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻1-1OMΩ。腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0．5×105-108Ω。

(8)物流車臺(tái)面對(duì)車輪系統(tǒng)電阻106-109Ω。

(9)料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架等物流傳遞器具一表面電阻值103-108Ω;摩擦電壓＜100V。

(10)包裝代、盒一摩擦電壓＜100V。

(11)人體綜合電阻106-108Ω。

 SMT生產(chǎn)設(shè)備必須接地良好，貼裝機(jī)應(yīng)采用三相無(wú)線制接地法并獨(dú)立接地。生產(chǎn)場(chǎng)所的地面、工作臺(tái)面墊、坐椅等均應(yīng)符合防靜電要求。車間內(nèi)保持恒溫、恒濕的環(huán)境。應(yīng)配備防靜電料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架、物流小車、防靜電包裝帶、防靜電腕帶、防靜電烙鐵及工具等設(shè)施。

(1)根據(jù)防靜電要求設(shè)置防靜電區(qū)域，并有明顯的防靜電警示標(biāo)志。按作業(yè)區(qū)所使用器件的靜電敏感程度分成1、2、3級(jí)，根據(jù)不同級(jí)別制訂不同的防護(hù)措施。

1級(jí)靜電敏感程度范圍：0-1999V
2級(jí)靜電敏感程度范圍：2000-3999V
3級(jí)靜電敏感程度范圍：4000-15999V

16000V以上是非靜電敏感程產(chǎn)品。